Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
Принципы проектирования полупроводниковых интегральных схем - Coggle…
Принципы проектирования полупроводниковых интегральных схем
Структура и конструкция полупроводниковых микросхем
Физическая структура и топология
Основные компоненты эпитаксиально-планарной структуры
Функции структурных элементов
Классификация технологических процессов производства ИМС
Заготовительная группа процессов
Сборочно-контрольная группа процессов
Обрабатывающая группа процессов
Получение полупроводниковых материалов и подложек
Изготовление подложек
Метод Чохральского для выращивания монокристаллов
Обработка и подготовка кремниевых пластин
Эпитаксия и окисление в производстве ИМС
Методы газофазной эпитаксии
Термическое окисление кремния
Процесс эпитаксиального выращивания
Легирование и диффузия примесей в полупроводниках
Варианты проведения диффузии
Формирование p-n-переходов
Термическая диффузия примесей
Фотолитография и микромонтажные работы
Методы микросварки в микромонтаже
Герметизация полупроводниковых микросхем
Фотолитографический процесс