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清大「雙間隙CMUT-on-CMOS 技術」 - Coggle Diagram
清大「雙間隙CMUT-on-CMOS 技術」
導言
為什麼想解決現今CMUT製程、遇到困難及趣事
訪：研究人員
研究動機
最大挑戰、有趣之事
說明「雙間隙CMUT-on-CMOS」 技術細節
簡易後段製程步驟
為什麼無須額外光罩
頂層做可運動薄膜
技術帶來的優勢、亮點
為什麼可節省晶片面積
一句話形容亮點
是否有用到設備做測試
解決什麼問題
技術未來執行到市場的可行性、期許
訪：研究人員、第三方
評價創新性(第三方)
遇到風險
產業價值
給團隊建議(第三方)
希望如何運用