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冷熱機討論 - Coggle Diagram
冷熱機討論
修正
10/14更新
191 VS 198機組
198 機組(Busch): 24392 ocstall後電流下不來(使用191變頻電流依然下不來)
191機組(測試機)正常，但更換198變頻至191後，動作不一致，故漢鐘懷疑是變頻器本體問題
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10/17 測試結果統整以下問題:
1.調整方式-3的紅圈部分問題有解決方式嗎?
2.為何增加12群參數後每一次cycle 都會有出現以上那些圖中的白圈問題?
3.為何01-14加速時間設定30S，但為什麼我的回升時間是8秒(06-05設定值=2)
後續漢鐘動作:會先用此調適參數測試長時間測試動作是否一致，待台達提供更好的解決方案。
10/21 漢鐘測試回饋兩點
- 真空泵恆速運轉並逐漸加載，當接近OC stall準位時，出現OCN故障
- 啟動加速中偶發頻率被限制在一固定值並維持Pr.12-00設定值，並維持OC stall旗標開啟
10/28 漢鐘明確目前行為需求:
1.定速中OC stall才觸發Pr.12-00/12-01功能動作，一般加速/減速過程發生OC stall不維持下限頻率時間。
2.一般減速、dEb狀態不會被下限頻率限制，需只有在定速OC stall動作時才參考下限頻率設定。
10/30 測試紀錄
- 下泵全轉速下逐漸加載發生OCN
主因：Pr.01-44=5 (傳統OC stall+下限頻率維持)，參照傳統OC stall，原先可應用於load-lock突加載的減速時間設定過快(0.4s)，導致逐漸加載工況時觸發OC stall會因為急減速發生PMFOC控制失控而導致OCN故障。
解法：調整OC stall減速時間至3秒，可應付抽真空突加載及定速逐漸加載工況。
- 下泵變頻器啟動加速中偶發維持固定頻率Pr.12-00時間後才繼續加速到全轉速
主因：目前Pr.01-44=5行為只要觸發OC stall動作，加速中觸發OC stall若還沒超過下限頻率，則會維持當前頻率並且維持Pr.12-00設定時間。
解法：後續修正韌體，僅恆速OC stall動作時需要觸發下限頻率動作，其餘工況則不受影響。
- 上泵啟動時偶發OCA
目前先開啟速度追蹤功能(Pr.07-12)、啟動時HFI電壓由20至30、Pr.10-48 HFI鎖相頻寬比例設定由1.00調整為0.5。
11/7 Tony
PA037S_V2.03 d24454新韌體功能測試
a.dEb、修改頻率命令不受到下限頻率影響。(只有定速ocstall才會受下限頻率影響)
b.加速中OC stall不參考Pr.12-00(維持時間)。
c.Pr.12-00維持下限頻率的判斷式修正，新增Pr.12-02(0.1s，100%stall狀態，進入12-00的判斷時間)、Pr.12-03(stall %數)功能做調整 ->最後一次 12-02=15s 12-03=1% (下泵)
2.上泵啟動時偶發OCA
目前測試10/30調整後的參數，還是偶發會OCA(漢鐘測的)，另外調整Pr.06-75啟動電流限制設定為130%，但後續漢鐘測試還是有再發生這個異常
用這版韌體和參數漢鐘自行進行不同機組測試，以下紀錄問題與暫定對策:
a.在某一機組，冷機狀態下加載後偶發頻率無法回升雖然漢鐘提到腔體大小、參數皆為一致，唯獨差在變頻器編號不同，但我還是請漢鐘針對不同的條件進行交叉測試看看，看是否能找出跟因。 (各腔體大小，皆只有在198才會有問題，191不會)
b.上泵啟動時偶發OCA松育會再與控制課共同討論對策
c.上泵更新韌體至V2.03 d24454後，複製參數載入過程，Pr.12-02會跳複製錯誤，且下限值會卡在5，無法設為0與松育確認為特意設計，Pr.12-02不應該被設為0，功能開不開啟由Pr.12-00決定，Pr.12-02最小值為1(minor)
d.V2.03 d24454版韌體，漢鐘認為Pr.12-02的過程不應該有頻率回升的狀況，且12群的參數在任何腔體大小下都要是固定的韌體功能設計本來就是如此，由於不同腔體大小下開閥之後，電流下降的時間點本就不同；針對不同腔體大就有可能需要設定不同的值來應對，我們只能盡力找出一組參數能同時滿足21L、84L、325L的腔體
9/27
- (V2.03.01/d24392)1-44=5: Pr.01-44選項5功能，為傳統OC stall + Smart OV stall/dEb且OC stall頻率規劃可透過參數Pr.01-11設定下限頻率
2.Pr.12-00 維持下限頻率時間：當OC stall觸發且降至下限頻率，維持下限頻率之時間。
3.Pr.12-01 屏蔽OC stall時間：當Pr.12-00設定時間抵達，預期輸出頻率開始加速時，為避免加速過程電流較大再次觸發OC stall，屏蔽OC stall的時間。
4.原先的速度規劃曲線低於Pr.01-11下限頻率，輸出頻率才會維持在下限頻率；換句話說，原先降到最低的輸出頻率 > Pr.01-11下限頻率，就會參照原先的速度規劃進行，而不會再降到下限頻率。
5.維持在下限頻率運行時，變頻器不會參考OC stall準位動作，所以會看到輸出電流超出Pr.06-04(OCstall準位)設定現象在輸出電流於Pr.06-12(電流限制)設定內，滿足輸出頻率為持在下限頻率。
Note. 目前漢鐘已自行修改PMF1212下泵Pr.06-04 OC stall準位設定為95%。
漢鐘廠內驗證：設定下限頻率為200Hz、Pr.06-04=90，運行3小時反覆抽84L腔體觀察波形差異，冷機抽真空時間為15s、熱機抽真空時間為14s，差異不大。
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10/7 更新
- 漢鐘周會反饋更換新的真空泵使用相同測試環境、韌體及參數，設定Pr.01-11下限頻率200Hz及250Hz，抽真空後維持在下限頻率不會恢復成工作頻率
- 傳統OC stall功能開啟(Pr.01-44=0 or 5)，抽真空降頻恢復的條件會是以輸出電流 < Pr.06-04 * 0.95，才會從下限頻率重新加速回工作頻率
- 下限頻率同時也會影響dEb功能動作時可降到的最低頻率、改變頻率命令時的最低頻率；因此下限頻率設定要確認不會影響dEb動作行為(無使用dEb則可忽略)及該泵種所需設定的最低頻率(例如節能模式需要降到的最低頻率)
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需求
漢鐘PMF1212雙泵在半導體客戶應用上，被要求針對相同的負載不論冷熱機都要行為一致，即一啟動即是最終的抽氣行為，避免因冷熱機影響產品良率。
熱機時轉子膨脹、抽氣更快，變頻器維持較久大電流、被電流限制維持的時間也會越長。
冷熱機界定
- 冷、熱機的界定，我認為是相對的，主要是要看工況負載變化。譬如說，假設我今天在底壓下熱機到衡溫後，負載轉換成L/L，此時負載變大，pump溫度就會變化(溫升)，也就是這段會造成pump性能改變(內部間隙改變)，且此段溫升要達到接近平衡一般需要2~3小時。然而，這段為自然的物理現象，我們也與客戶解釋過，但，客戶回覆以他們經驗，認為變頻器控制上可以做到，且經過2-3run就可以將性能控制穩定。
- 以目前客戶的負載條件(580L L/L )來看，殼體sensor量測的溫度會從約35度升至90度左右。
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