Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
BỐC BAY NHIỆT : - Coggle Diagram
BỐC BAY NHIỆT :
-
Cơ chế
Quá trình lắng đọng màng
- Sự chuyển vật liệu bốc bay từ pha rắn sáng lỏng rồi thành hơi do nhiệt điện trở
- Nguyên tử hấp thụ và định vị trên đế - kết tụ
- Tinh thể hóa màng bằng các thông số quá trình
- Phát triển thành màng liên tục
- Sự di chuyển của các nguyên tử từ nguồn đến đế
-
-
-
Khái niệm
là kỹ thuật tạo màng mỏng bằng cách bay hơi các vật liệu cần tạo trong môi trường chân không cao và ngưng tụ trên đế (được đốt nóng/ không đốt nóng)