Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
QUANG KHẮC - Coggle Diagram
QUANG KHẮC
Tạo ra các chi tiết
Hình dạng, kích thước xác định
Sử dụng bức xạ ánh sáng
Biến đổi các chất cảm quang trên bề mặt
Kĩ thuật
Bề mặt đế
Phủ
Chất cản quang
Chiếu bức xạ thích hợp
Âm
Không bị hòa tan
Dương
Bị hòa tan
Tính chất thay đổi
Vai trò
Bảo vệ ăn mòn
Tạo các khe rãnh
Nguồn phát
Tia tử ngoại
Khuếch đại
Mặt nạ
Chắn sáng
In các chi tiết cần tạo
Tạo ra bóng
Hội tụ
Ứng dụng
Tạo ra chi tiết linh kiện
Kích thước nhỏ
Độ chính xác cực cao
Vi mạch điện tử trên cái phiến Si
Linh kiện vi cơ điện tử (MEMS)
Hạn chế
Ánh sáng bị nhiễu xạ
Không thể hội tụ kích cỡ quá nhỏ
Không thể chế tạo chi tiết kích thước nano
Quang khắc chùm điện tử EBL