Please enable JavaScript.

Coggle requires JavaScript to display documents.

非球面光学元件面型检测, Phase Measuring Deflectometry, PMD - Coggle Diagram

- - - - 探测器上光斑的横向偏移量算出波前斜率，用波前重构算法待测面型的重构波面
      - hartman 方法：受光阑或微透镜口径研制，无法检测大非球面引入的大畸变波前，横向分辨率低
    - - 利用投影到待测面上的条纹光作为载频，通过分析待测面引入的条纹畸变求出待测面型
      - 结构光法(漫反射、镜面反射)
        
        将某种结构光(大多是余弦条纹光) 投影到待测非球面上，而受待测面调制的条纹光就携带了待测面的面型信息，对其进行解调即可求得待测面的面型。
        
        条纹投影 FPM
        
        粗糙带侧面，漫反射，相机接收
        
        条纹反射 FRM
        
        光滑面，镜面反射相机接收
      - Ronchi 检验
    - - 轮廓仪
      - 3次元
      - 测面上离散点的矢高并通过拟合得到面型数据
        轮廓仪或CMM 采用的机械探针与待测面直接接触，属于有损检测