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Wire Saw - Coggle Diagram
Wire Saw
品質問題
晶圓表面粗糙度問題
多絲鋸線間鋸不均
鋸線振動
鋸線與晶圓表面接觸不良
線鋸磨損
晶圓硬度不均
晶圓剝落
黏著力不足
溫度不當
力學應力
表面污染
製程設備故障
晶圓表面缺失
原料污染
蝕刻不當
熱應力
機械損傷
製程設備故障
鋸線磨損
切割過程中的磨損
磨損物的積聚
鋸線材質的問題
鋸線的潤滑問題
切割精度
鋸線的張力不穩定
其他關鍵因子
張力不一致
破裂率增加
切割表面不均勻
耗材損失增加
切割精度不一致
滾轆位移
切割精度下降
破裂率增加
表面粗糙度增加
晶圓損壞
線鋸振動來源
內部振動
金剛石線的振動則可能是由於線張力不均、磨損不均、線輪與線的接觸不良等問題所致
外部振動
主要包括機械結構的振動、切割晶圓的振動、水箱的振動、氣壓振動等
線鋸下壓換算
P=F/L P表示鋸線下壓力，單位為Pa；F表示施加在鋸線上的力(張力)，單位為N；L表示鋸線接觸晶圓的長度，單位為m
皮帶張力換算
馬達功率
線的數量
馬達轉速
切線速度
驅動側滾轆直徑
設備
軸承損壞
鋸線不良
過高的鋸線下壓力
潤滑不足
操作不當
切割精度
鋸線的張力不穩定
鋸線的磨損
晶圓的厚度不均勻
切割液的濃度和流量
鋸線的振動
切割速度和進給速度
鋸線的對中度
製程
WPH提升
鋸線間距
鋸線數量
鋸線速度
鋸線下壓力
晶圓圓轉速度