És un líquid o gas incolor i inodors. L’esterilització es porta a taerma en autoclaus d’oxis d’etilè. S’utilitza per esterilitzar a baixa temperatura (37-55ºC) materials termosensibles com plàstic, polietilè, catèters, tubs d’intubació, sondes, endoscòpis, sistemes òptics…