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Elipsometría en la caracterización del espesor de películas delgadas y…
Elipsometría en la caracterización del espesor de películas delgadas y óxido de silicio
Elipsometría
Técnica para conocer las propiedades de una película
Espesor
Ópticas
Electrónicas
Funcionamiento
Haz de luz polarizado
Incidencia en el material
Reflexión y cambio en polarización
Detección
Interpretación y comparación de resultados
¿Para qué sirve?
Conocer el espesor
Influye en las propiedades
Ópticas
Electrónicas
Físicas
Importante en una variedad de areas
Fabricación de dispositivos electrónicos
Determina las propiedades eléctricas
Conductividad
Resistencia
Óxido de silicio
Presencia en dispositivos electrónicos
Natural
Inducida
Utilidad
Microcontroladores
Memorias
Paneles solares
Determina
Rendimiento
Eficiencia
Fiabilidad
¿Cómo se usa?
Pasos
Limpieza de la oblea con la película
Localización en el elipsómetro
Selección de la longitud de onda
Incidencia a un ángulo seleccionado
Detección
Interpretación
Aplicaciones
Películas delgadas en general
Semiconductores
Pantallas
Optoelectrónica
Ciencia de materiales
Nanotecnología
Biomédica
Óxido de silicio
Control de calidad en semiconductores
Monitoreo de los procesos de fabricación
Detección de impurezas o cambios en el óxido
