Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
Дослідження мікроструктури тонких плівок - Coggle Diagram
Дослідження мікроструктури тонких плівок
Методи отримання тонких плівок
Магнетронне розпилення
Хімічне осадження з парової фази
Фізичне осадження з парової фази
Електрохімічне осадження
Методи дослідження мікроструктури
Мікроскопічні методи
Оптична мікроскопія
Растрова електронна мікроскопія
Просвітна електронна мікроскопія
Дифракційні методи
Рентгенівська дифракція
Електронна дифракція
Спектроскопічні методи
Енергодисперсійна рентгенівська спектроскопія
Раманівська спектроскопія
Структурні характеристики тонких плівок
Фазовий склад
Розмір зерен
Розмір зерен
Напруження та деформації
Вплив параметрів осадження на мікроструктуру
Температура підкладки
Тиск у камері
Швидкість осадження
Склад вихідного матеріалу
Застосування тонких плівок
Наноелектроніка
Оптичні покриття
Сенсорні системи
Захисні покриття