Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
Вакуумная установка УВЭЛ-700-01, image, image, image, image - Coggle…
Вакуумная установка УВЭЛ-700-01
Назначение вакуумной установки
Для нанесения оптических покрытий методом электронно-лучевого испарения, с предварительной ионно-лучевой очисткой в вакууме, со спектральным и кварцевым контролем толщины пленки в условиях единичного и мелкосерийного производств.
Основные узлы камеры
Откачной пост
:check:Предназначена для создания необходимого разряжения объема, нагрева деталей и проведения технологических процессов: ионной очистки, электронно-лучевого испарения.
Основные тех. узлы
Осветитель спектрального контроля
:check:Оптический контроль позволяет в процессе напыления производить измерение коэффициентов отражения или пропускания в диапазоне спектра от 380 до 1200 нм. Измерение
производится по всему спектру одновременно.
:check:Оптическая схема контроля имеет два режима: контроль «на отражение»; контроль «на пропускание».
:warning:При контроле «на пропускание» включается верхний осветитель (галогеновая лампа) и пучок излучения, формируемый конденсором в плоскости установки свидетелей, проходя через прозрачный образец, попадает в приемный тракт спектрометров
:warning:При контроле «на отражение» осветитель включается снизу. Излучение отражается от образца под углом 5 градусов и попадает в приемный тракт спектрометров
Узлы свидетелей и
кварцевого контроля
:check:Кварцевый контроль позволяет в процессе нанесения тонкопленочных покрытий контролировать физическую толщину наносимой на подложку пленки, а также скорость напыления материала.
Стойка управления
:check:В окне «Диаграмма откачки» позволяет оператору управлять процессом откачки/напуском
:check:В окне «Диаграмма техпроцесса» пользователь может пронаблюдать за ходом выполнения ТП нанесения покрытия.
:warning: В данном окне имеется полная информация о параметрах напыления: ток эмиссии; величина высокого напряжения; номер сканирующего рисунка; объем поступающего в камеру технологического газа; номер установленного свидетеля; номер распыляемого вещества; скорость напыления. Приведенная информация является основополагающей, т.к. позволяет непосредственным образом влиять на структуру получаемых покрытий.
:check:Окно «Спектральный контроль» содержит информацию о коэффициентах пропускания/отражения, значения которых представлены в виде спектрограммы зависимости данных коэффициентов от длинны волны.
:warning:В диалоговом окне предусмотрены функции записи и воспроизведения спектрограммы в (из) файл (-ла). Это позволяет сопоставлять расчетные и экспериментальные
:check:Окна «Оборудование» и «Константы» отвечают за связь программного интерфейса с оконечными устройствами вакуумной установки.
:check:«Тренды» позволяют строить зависимости значений различных параметров установки от времени.
