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Descum機台架構 - Coggle Diagram

- - - - 真空腔體1
        
        SUS 304
        
        上蓋板2/3
        
        AL
        
        擃散板21
        
        AL
        
        真空擴散板22
        
        AL
        
        固定塊23/24/25
        
        AL
        
        連接銅柱12
        
        紅銅
        
        Wafer限制塊26/27
        
        鐵氟龍
        
        Robot Shutter 封口34
        
        AL
      - 上蓋板
        
        AL
      - 電擊板7
        
        AL
        
        定位塊5/6
        
        鐵氟龍
        
        下方絕緣板4
        
        鐵氟龍
        
        鎖固絕緣塊10/11
        
        鐵氟龍
      - RPS框架14
        
        鋁擠型
        
        外封板15/16/17
        
        SUS 304
        
        固定片18
        
        SUS 304
        
        MW調整片19
        
        SUS 304
        
        MW傳導部65/66
        
        AL
    - - Angle Valve
        
        AVB-KF16-P90,附4mm快速接頭
      - 壓力開關
        
        ZSE80-A2-R
      - RPS System
        
        MW-Power-Supply 3KW 2450MHz
    - - O-ring
        
        腔體底部8
        
        電擊板底部9
        
        MW導輸管28
        
        上腔體蓋板29/30
        
        Robot Shutter 封口35