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PRSS等離子 - Coggle Diagram
PRSS等離子
Process Module(V)
Chamber Module(VA.)
真空腔體
腔體主體焊接
A6061 T6
*酸洗霧化
排氣栓
AL 5052
*脫脂洗淨
腔門
門板
A1 A5052
*酸洗霧化
Sensor
密封開關
OMRON ZC-Q2255
微動開關
MSTKD-B
門栓
玻璃蓋
圓形高壓玻璃
OD：124㎜，t=8㎜
真空偵測元件
壓力開關
ZSE20C-R-A2-W
VCR轉接頭
KF16-1/4""VCR Female Nut SUS304
Angle Valve
AVB-KF16-P90,附4mm快速接頭
真空壓力計
MKS 10Torr NW16-KF[626D11TDE]
其餘
電漿隔板
A1 A6061 T6
*酸洗霧化
接地不鏽鋼網
WMR-92-M OD:9.2
腔體&門板
WMR-35-M
腔體&RF
真空處
整流板
A1 A6061 T6
*酸洗霧化
ICP延伸塊
440x440x70 AL
A1 A5052
*酸洗霧化
Gas Ring(VB.)
RF高頻源
氣環
重要加工件
AL A6061T6
*酸洗
O-Ring
AS568#388
氣環腔體
AS568＃205
氣源
AS568#385
氣環腔體&氣環RF
氣環支架
功用?
SUS 316
*脫脂洗淨+酸洗+電解
RF相關
RF視窗
Ceramic陶瓷
RF線圈
Brass 黃銅
相關固定塊
主體
冷卻風扇
UF12B23-H
冷卻風扇網
遮蓋鈑金
SUS 304 2B
*脫脂洗淨
4"
IPC支撐架
SUS304(亮面)
*酸洗+脫脂洗淨
ICP支撐架蓋板
SUS304(亮面)
*脫脂洗淨
配件
防漏波銅片
[97-521-02] ,405mm
ICP線圈連結紅銅片
紅銅_1220
20
0.6
*脫脂洗淨
Rotating Module(VR.)
旋轉台
市購元件
直流無刷馬達
9B120P-2，120W 200-230V 1:200漸速機(含
對軸型電磁離合器制動組
EFUL-Z-015
軸承
6005ZZ；6005 ZZ SUS"
止推軸承
51322
O型環
VITON； P20 φ2.4*φ19.8
轉軸徑向
AS568#229
旋轉法蘭
P215
止推軸承支撐座
間隔環
CLBSM-47-26
聯軸器
CM-XC40
十字型夾鉗式(14
16)止付M5
2
離合器&轉軸
CM-CX50
十字型夾鉗式(14
18)止付M5
2
馬達&離合器
固定架
旋轉固定架
SS41
*噴砂+烤漆
制動離合器固定架
SS41
*噴砂+烤漆
馬達支撐座
SS41
*噴砂+烤漆
封板
SS41
*噴砂+烤漆
傳動加工件
止推傳動
止推軸承遮蔽環
SUS304
*脫脂洗淨
旋轉軸(大)支持板
A1 A6061 T6
*硬陽(黑)
旋轉軸(大)
A1 A6061 T6
*硬陽(黑)
止推軸承支撐座
A1 A6061 T6
*酸洗
旋轉固定塊
A1 A6061 T6
硬陽(黑)
上方工作台
晶片匣支持柱
A1 A6061 T6
*硬陽(黑)
卡匣支持板
A1 A6061 T6
*硬陽(黑)
晶片匣支撐板
A1 A6061 T6
*酸洗霧化
下方傳動
旋轉法蘭
SUS 304
*電解
旋轉法蘭蓋板
A1 A6061 T6
*酸洗
旋轉軸
SUS304
*拋光電解
旋轉軸襯套
Teflon鐵氟龍
Piping Module(H)
Gas Box(HA.)
氣體控制盤
電磁閥
單動
製程氣體開關
SS3Y1-S41-05-M5
雙動
真空源角閥
SY5140-5LZE-02
製程氣體
MFC質流控制器
O2
MFC O2 1000 SCCM；1179C01513CR1AV 9 PIN T
CF4
MFC CF4 1000 SCCM；1179C06313CR1AV
手動閥
EVZS4R-BV
氣動閥
EVZS4C-FV,含90度快速接頭(1/8PT轉4mmPU管用)
破真空氣體(N2)
手動閥
EVZS4R-BV
氣動閥
EVZS4C-FV,含90度快速接頭(1/8PT轉4mmPU管用)
壓縮空氣CDA
調壓閥
AR20-02BG-B(附壓力錶)
壓力開關
IS3000-02L5 0.1~0.7MPa
Pumping Module(HD.)
真空源
Dry Pump
Hanbell PS-160HC 220V 60Hz前排+球逆
Throttle Valve 蝴蝶閥
APC控制器
1651C-28519
FK50 253B-2-50-1
Angle Valve 角閥
AVB-KF50-P90,附6mm 快速接頭
Bellow管
配件
中心環
Clamp
Gasket
接頭
Rack Module(D)
骨架零件組立(DA.)