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Hook up, Hook up, Hook up - Coggle Diagram
Hook up
A8表
A2 Pumping line & Exhaust
A3 PCW、DI、SW
A1 Partition wall & PC-enclosure
A4 Drain
A5 Chemical
A6 Gas Line、High vacuum
A7 Electicity
A8 Equipment Move-in Schedule
Pumping line 真空管路
Tool -> Pump
此部分管路藉由真空Pump吸力，將製成廢氣排出機台。
Power
Exhaust
Hook up
Partition wall
Chemical piping
Hook up
Plastic piping 塑膠管材
PE (聚乙烯) 黑色
0-20度
熱熔對接
Drain pipe
可耐酸鹼
PVDF(聚四氟乙烯) 白色
-20~140度
可耐酸鹼
可耐高溫
熱熔對接
DI pipe
廠務提供設備機台所需之製程用純水
H2SO4
PVC (聚氯乙烯) 灰色
0-60 度
塗膠對接
PCW
降低設備機台生產時所產生的高溫
HV & LV
提供機台及真空吸筆之真空壓力
SW PIPE
廠務提供Local Scrubber 所需之用水
Drain pipe
PP (聚丙烯)乳黃色
燃燒時會產生大量煙霧
熱風槍黏接
PPS (聚丙烯+阻燃劑)灰色
熱風槍黏接