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水側系統, 1.密閉空間溫度控制與調節 2.提供冰水給所屬空調設備對其所引進的濕度控制與調節, 1.空調冷卻使用 2.循環空調箱 -…
水側系統
5°C 冰水
MAU
office
潔淨更衣室
潔淨室
HPM
ACT-690 (光阻液)
緊急狀況下
支援9°C 冰水
儲冰系統支援
37°C 溫水
MAU 濕度控制與調整
9°C 冰水
空調冷卻使用
clean room 乾盤管
clean room 循環空調箱
室內小型送風機
空調箱
超純水
製成真空集塵
製成循環冷卻水
1.密閉空間溫度控制與調節
2.提供冰水給所屬空調設備對其所引進的濕度控制與調節
1.空調冷卻使用
2.循環空調箱