Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
Deal-Grove Model, 캡처_2021_10_27_16_00_13_935 →외부에서 컨트롤 가능한 Ca를 알고 있으면 …
Deal-Grove Model
Predict and interpert
thermal oxidation fo silicon
한계점
thin oxide 20nm 이하 예측 힘들다
도핑이 많이 된 경우 정확성이 떨어진다
이용 법칙&방법
Henry's law
S=HP
particle pressure이 높으면
잘 diffusion 되서 들어간다
Fick's law of diffusion
Flux 단위
개수 / (면적*시간)
Laminar flow
예측 가능한 flow
inert gas + 증착 하고 싶은 gas
확산과 반응
F2(diffusion flux through sio2)
F3(reaction flux at interface)
ks(reaction rate constant
F1(Gas transport flux)
laminar flow에서는 oxygen 농도 차이 없다
hg(mass transfer coefficient
매우 높다(무한대)
Henry's law
Steady state(F1=F2=F3)
Ca
엔지니어가 조절할 수 있는 농도
증착 속도
Linear and parabolic rate coefficients
linear
도핑 증가시 증가한다
(도핑은 interface에 영향을 주므로 B/A 와 관련)
dry와 wet의 활성화
에너지 차이가 거의 동일하다
parabolic
dry와 wet의 활성화
에너지 차이가 거의 동일하다
→외부에서 컨트롤 가능한 Ca를 알고 있으면
전체의 Flux를 알 수 있다
