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Simplify the lens,
its fabrication;
Reduce the footprint of the whole…
Simplify the lens,
its fabrication;
Reduce the footprint of the whole system;
Reduce the consommables
Equipment
E10. Arrêter la course au équipement neuf, (Pc industriel, etc..)
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enceinte de depôt
E12. terminer la polymerization HC pendant pompage TSV (evite utulisastion fours) - ou les etuves de maintien à 60°C :red_cross:
E13. Deployer le RTB sur l'effet Joule pour diviser par deux la quantité de top coat dans la capsule, à chaque run
E14. deposer sur les deux faces au même temps (e.g. Leybold pour topcoat), ou systeme flip-flop pour petite machines et petit labo (dejà mise en place en 1996, perte en productvité à cause de bagues speciales, Satis). O. Beynat
E16.Rendre plus vite le refroidissement machine (nettoyage hebdomadaire/taux de fuite), voir taux de fuite "court" C.Salgado; 2 idées
E18. Boite de protection (“gamelle”) autour du canon à électron. Réduit le temps de sablage et améliore le EER. Pas d'effet directe sur l'énergie machine.
E19. canon vis à vis du masque, le déplacer sur le côté ou optimiser le masque :red_cross:
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E24 : Utiliser le cache de répart en 3 parties pour amélirer la reproductibilité des couches très fines et donc le rendement, O. Beynat, EMTC, voir E19
E25 : : installer vite le système sans creuset Tantale pour le top coat (gain en reproductibilité, en temps d'évap et en matiière première Ta), par broches laterales (voir P2)
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E26. transform the venting step in energy
Materials
M3. utiliser un moyen indice: moins de couches dans le MC (Q1Z1 => M1) :check:
M5. travailler sur le substrat pour reduire l'absorption d'eau (surtout Orma) et donc le temps de pompage
M4. optimiser utilisation raw material (p.e.pastille ZrO2; croute SiO2 reutilisé pour added volumes)
M1. remplacer le vernis par le quartzage (e.g. 3micron SiO2, marché allemande)
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M6. Avoir une vraie politique de recupération des déchets engendrée avec les machines (TSV, Surf)
M7. Avancement en edging permettent de ne pas utiliser la BOL.De à present possible s'en passer du MgO en MP?
M8. Reconditionner les pastilles ZrO2 en interne (mais frittage et conservation pureté compliqué à realiser)
M9. Reutiliser le croutes de SiO2 pour les AR entrée de gamme. Necessiare de le concaisser. Etudes faisabilité dejà realisé dans le passé. M.Thomas?
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Testing
T2. reutiliser/recycler le sable apres SRT (3kg de sable pour chaque test, qui sera enfoui/brulé)
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T.3 Améliorer le control de nos procédé (suivi des paramètres influents) pour éviter la réalisation de tests = Privilégier contrôle procèdes au contrôle produits
Building & Utilities
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electricité
BU1. Arrêter toutes les utilities en standby :check:
BU2. utiliser l'énergie solaire ou elle est abondante :check:
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TSV Process
consommables
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P2. remplacer nacelle en tantale connexion par broches (pilote à SEOCL, O.Beinat) ou la reutiliser/recycler, voir P8
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P16. Pour rallonger la durée de vie, filament plus épaisse pour canon à électron (selon exemple du nouveau bloque cathodique pour le canon à ions)
P17. En MP les pastilles de ZrO2 sont utilisé sur la face et non pas sur la tranche. Trouver des solutions alternatives (e.g. pastille non-stoichiometriques de ZrOx, grises. Voir Umicore)
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