Please enable JavaScript.

Coggle requires JavaScript to display documents.

4Q Процессор Беседина (Версия 2) - Coggle Diagram

- - - - Обнаружены каплевидные дефекты на краях зазоров. Причина известна Роману Киртаеву - это из-за реакции свежевытравленного алюминия с атмосферой. Предотвращается пятисекундным запуском процесса clean HF3 с последующей продувкой
      - 2,09,21
        Даша нанесла трёхслойку, А я сделал электронную литографию переходов и проявил маску
        
        7,09,21
        
        8,09,21
  - - - А282-285
        Ок
        
        Напылил переходы. С учётом требований дизайна к сдвигу теней (по 330 нм в каждую сторону) увеличил угол до 26 градусов (примерно 340 нм, вместо 330) Окисление 3 мБар, с прицелом в плотность криттока 0,7 мкА/мкм.кв
        
        Даша лифтовала. Долго - 1 час. Нанесена трёхслойука и выполнена литогнрафия бандажа
    - - Из-за плохого нанесения оптического резиста первое травление алюминия оказалось настолько неполным, что даже второе мало где помогло. Тем не менее некоторые из тестовых площадок выглядят как пригодные для тестовых переходов
- - - - 3,09,2021
        Лазерная литография. Проявка.
        
        8,09,2021
        Хлорное травление алюминия. 200 секунд с контроем по EPD. Почему-то кривая вначале поползла вверх. Вцелом алюминий похоже протравился, но видна неоднородность затрава, которая повторяет неоднородность проявки, по "литографическим квадратам.
    - - А291 - это 1Q
      - Этих 4Q образцов нет, т.к. я взял при импорте слой, соответствующий их переходам , а не ГП