Please enable JavaScript.

Coggle requires JavaScript to display documents.

5Q_Kadyrmetov_v2 - Coggle Diagram

- - - - 2,09,2021
        Даша нанесла трёхслойку. Я сделал литографию переходов и проявку. Из-за проблем со столиком плассиса не стал загружать в камеру.
        
        6,09,2021
        Даша напылила переходы. 40 мБар. И отлифтовала
        
        8,09,2021
        Даша нанесла трёхслойку. Я сделал литографию бандажа
        
        9,09,2021
        Даша проявила и напылила бандаж, сделала лифтоф. Я измерил переходы на З.С.
  - - - А287 Дополнительного хлорного травления делать не стал
        
        При проявке вместо IPA окунул на несколько секунд в ацетон - проявленные места окружены светлыми ореолами. Напылять сквозь эту маску переходы нет смысла
    - - А286
        Выявлены признаки небольшого недотрава алюминия на краях зазоров. Добавил хлорного травления 70 секунд
        
        W пылился все хуже, если раньше мы увиличивали ток до 200, а потом возвращали до 70, то сейчас было 200, чтобы не отключалась плазма. W пылился с неравномерной скоростью - очень плохо
        
        маска для бондажа открылась хорошо, но на подложке появились трещины на W - под ними был виден резист, но скорее всего он был уже утонченный и стравился в аргонной плазме -
        из-за этого в эти трещины напылился алюминий и многое закоротил, но тестовые переходы измерить всё же можно
        liftoff 20 min
        
        З,С,:
        Тест 1:
        Big JJ 7.9 кОм (33 нА 0,25 мкА/мкм.кв)
        Small JJ 41 кОм (6,38 нА) 0,28 мкА/мкм.кв)
        Тест 2:
        Big JJ 8.2 кОм (32 нА)
        Small JJ 42 кОм (6,23 нА)
        Тест 3:
        Big JJ 7.9 кОм (33 нА)
        Small JJ 46 кОм (5,69 нА)
        
        1 more item...
        
        10,09,2021
        SEM переходов
        
        1 more item...
- - - - А293
    - - 3,09,2021
        Нанесение оптического резиста
        
        7,09,2021
        Лазерная литография и проявка
        
        8,09,2021
        Травление алюминия.
        Сначала 150 sc BCl3, 30 sec Ar purge, 3 sec CHF3, 30 sec Ar purge. На ЕПД кривой в конце процесс вместо полки странный подъём. После этого в оптике виден явный недотрав алюминия. Добавили травления 80 sec BCL3, 30 sec Ar purge, 3 sec CHF3, 30 sec Ar purge. Форма ЕПД графика на этот раз очень правильная. В оптике видно, что основная масса алюминия стравилась, НО есть крошечные остатки алюминия, которым не дали стравиться какие-то частицы сверху.
- - - - А321-329
        
        Доза литографии 60
        Нетермостатировал и не использовал мешалку (т.к. пластина большая и для мешалки в стакане нет места)
        
        Уширение зазора 8.4 мкм по результату проявки +1.9 мкм
        
        В окнах травления в тёмном поле квртинка значительно чище и однороднее, чем На А300-320. Что указывает на предпочтительность дозы в 80. При этом уширение 10 мкм. зазора в резонаторах всего +100 нм.
        
        14.09.2021 - ТРАВИЛ ТОЛЬКО ТЕСТОВІЙ СПУТНИК
        
        1 more item...
        
        Во избежание перепекания резиста использовал пасту для термоконтакта и разбил процесс на кванты по 60 секунд, разделённые паузами в 120 секунд для остывания. ЕPD уверенно вышел на нижнюю полку на третьем кванте на 190 й секунде. Всего травил 220 секунд.
        
        Визуально резист по сравнению с А300-320 выглядит не перепечённым.(есть фото)
        
        В окнах травления видна обильная рябь, как от недотрава алюминия, а может это рельеф кремния…
        
        1 more item...
        
        Добавил 10сек CleanO2
        BCL3 -60 сек
        Сlean CHF3 3 sec
        На чипах 327, 328, 329 и на 324 рябь остатков алюминия существенно прочистилась.также обрезались ранее наблюдавшиеся здесь градиенты алюминия на краях.
        
        На других чипах этой же пластины, где иранее наблюдались более обильные недотравленности ониостались.
        
        1 more item...
        
        Считаю Образцы 327,328,329,324 достойными звания БМС запаса.
        
        1 more item...
      - Доза литографии 60
        Нетермостатировал и не использовал мешалку (т.к. пластина большая и для мешалки в стакане нет места)
        
        Уширение зазора 8.4 мкм по результату проявки +1.7 мкм
        
        Визуально резист вглядит как запёкшийся (розово-зелёная дымка) На травлении в окнах видны светящиеся крошки в тёмном поле - довольно много - есть фото.
        
        Сам резист тоже имеет шершавый вид - предположительно даже со сквозными порами, через которые алюминий травится, образуя “дырявый” базовый слой.
        
        Травление контролировалось по EPD и составило 270 секунд (250 до “нижней полки”)
        
        1 more item...
        
        Поскольку условно годные для дальнейших тестов среди этой пластины есть, то решили и сюда ненести трёхслойку
        
        Выломал А316 из пластины и передал Даше для литографии под переходы
        
        Даша сделала электронную литографию и напылила переходы при 15 мБар. Я сделал лифтоф и З.С. по экспресс тестам
        
        З.С.:
        Экспресс тест большой
        2,6 кОм (100 нА)
        Экспресс тест малый
        11,2 кОм (23 нА)
        
        1 more item...
    - - Вероятно, до700 градусов такине дошла реальная температура.Термопара нанагревателе ушла в зашкал на 500. Термопара на столике показыала в от 540 до 560 градусов в течение 30 м инут.
      - 14,09,2021
        Напыление алюминия, оптическая литография и травление в хлорной плазме
        
        15,09,2021
        ТРАВИЛ А321-329
        
        21,09,2021
        Добавлено травление на А321-329, Даша нанесла на образцы третьей серии трёхслойку.
        
        23,09,2021
        
        24,09,2021