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異常單系統常用欄位 - Coggle Diagram
異常單系統常用欄位
發現站點
0000 CST CLEAN
0001 Mask CLEAN
01L0 unpack
01L1 pack
1106 MSPU Pre-Clen
1107 ETCH MQC Transfer PROD
1108 reset time
1212 MACO for S024
1299 collect oper for merge
1362、1367、2362、2367、3362、3367 monitor edge exposure
1471、1971、3471、3971 CD LOSS FOR MSPU
2000 INSP EQ MQC
2104 CVDA 含 PLCN
2260、2261、4260 Total pitch after CVD
2262、2263、2368、2369、4262
Auto thin film measermen
2363、3363、3368、4363、4368、5363、5368 for step CD OL
4304 for scrap from cf
4750 Laser CVD
4801 double strip
6331 蝕刻前OG膜厚量測
6332 蝕刻前Bonding區OG膜厚量
6341 第一次顯影去光阻
6342 第二次顯影去光阻
6931 蝕刻後OG膜厚量測
6932 蝕刻後Bonding區OG膜厚量
異常處理
0011 重測重修
0006 待ENG確認
0007 補清洗
0012 現貨加檢
0013 依前製程R/W，Pass當站
0014 Pass續流程(取消R/W)。
0020 待INSP ENG處理
0023 Pass過當站且Future Hold
0024 依前製程RW，Pass F/H
0025 當批補加檢
0029 產品轉控片
0032 現貨加檢後Rework
異常 CODE
993R ESD(靜電問題)
C78R Glass Defect(玻璃缺陷)
T021 Testing-ENG人為疏失
TORR 膜厚異常
SH9R ITO Scratch(ITO刮傷)
// Pass續流程(取消R/W)
PT01 刻號品質異常
PT02 曝邊DATA超出規格
PT03 Glass ID位置錯誤
PS90 NIKN設備異常當機
QPA1 因PHOT久未RUN DATA NG
EI82 ADSI/CDME設備量測誤差
分類
設備異常單 A
產品異常單 B
異常處理登記 C
SPC 異常單 D
EDC 異常單 E
RTQCS 異常單 F
PM 點檢異常 M
PM 保養異常 P
發現區域
"A"MHS
"E"TCH
"I"NSP
"O"THER
"P"HOT
"T"EST
T"F"00
狀態
0000 建立異常單
0010 待TA處理
0020 待ENG處理
0025 主管結案
0030 結案
0031 異常結案