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(層別)TFT製程 (主製程)
(站別代碼) - Coggle Diagram
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(層別)TFT製程 (主製程)
(站別代碼)
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第三碼:檢測站點
(00-->上光阻/20-->曝光/40-->顯影/80-->檢測站點)
xx1x-MACO(以肉眼直接觀察glass的膜質均勻狀況)
xx3x-NANO(以光學反射原理測量膜厚)
xx5x-AOIH(以光學反射和影像辨識找出defect)
xx6x-ADSI(以光學反射量測黃光後不同層別圖形的對準情形)
x86x-CDME(利用雷射干涉儀量測長度)
xx7x-ADSI(以光學反射量測黃光後的CD)
x390-ILBO(以雷射修補黃光後defect)
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