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加熱製程 (硬體設備 (1.控制系統, 2.製造爐管, 3.氣體輸送系統, 4.氣體排放, 5.裝載系統), 製程分類 (4.高溫化學氣相沉積…
加熱製程
硬體設備
1.控制系統
2.製造爐管
3.氣體輸送系統
4.氣體排放
5.裝載系統
製程分類
4.高溫化學氣相沉積
(1)磊晶矽沉積
(2)選擇性磊晶製程
(3)多晶矽沉積
(4)氮化矽沉積
1.氧化製程
(1)乾氧氧化製程
(2)濕氧氧化製程
(3)高壓氧化製程
2.擴散製程
3.退火
快速加熱製程(RTP)系統
1.快速加熱退火(RAT)系統
2.快速加熱氧化(RTO)
3.快速加熱(CVD)、(RTCVD)