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表面硬化法 (物理真空蒸着法 (未來較具潛力開發的鍍層 (超硬薄膜, 耐熱薄膜, 耐蝕薄膜, 潤滑薄膜), 是目前最具有潛能技術, 操作技術簡單,…
表面硬化法
物理真空蒸着法
是目前最具有潛能技術
未來較具潛力開發的鍍層
超硬薄膜
耐熱薄膜
耐蝕薄膜
潤滑薄膜
操作技術簡單
目前生產成本偏高
PVD/CVD真空鍍膜之應用
應用產業
工業用
包裝材料
工具/刀具
資訊儲存
微電子
光學用
生醫用
近代薄膜合成方式的主流
可使產品提高附加價值
化學真空鍍膜法
又稱冷氣相沈積法
應用市場
微電子業
切削刀具業
一般工業
醫療器材產業
光電工業