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第十章表面硬化法 (物理真空蒸著法的應用 (微電子, 切削刀具, 模具, 各類機械耐磨, 潤滑元件, 包裝材料, 光磁儲存, 光學元件, 平面顯示器…
第十章表面硬化法
物理真空蒸著法的應用
微電子
切削刀具
模具
各類機械耐磨
潤滑元件
包裝材料
光磁儲存
光學元件
平面顯示器
生醫材料
化學真空鍍膜法應用
導電電路
電阻
電晶體
電容元件
平面顯示器
工業用途
鍍膜
耐磨
耐蝕
潤滑
鋼片
渦輪
葉片
軸承
金屬切削刀具
眼鏡框
光學鏡片
光記錄器
生醫材料
物理真空蒸著法
PVD顧名思義是以物理機制來進行薄膜湚積而不涉及化學反應的製程技術，所謂物理機制是物質的相變化現象，如蒸鍍，蒸鍍源由固態轉化為氣態，濺鍍，蒸鍍源則由氣態轉化為電漿態
化學真空鍍膜法
又稱冷空氣沈積法，利用是當的氣體與高溫基材產生硬質化合物度在材料上