Es un gas de elevada constante dieléctrica (muy aislante), por lo que se usa habitualmente como aislante en los sistemas de distribución de electricidad, especialmente en sistemas de alta tensión. También se aplica en algunos procesos industriales siderúrgicos,4 y en cirugía ocular5
A elevadas temperaturas (más de 204 °C),6 se descompone en sustancias tóxicas, como ácido fluorhídrico, dióxido de azufre y distintos sulfatos.2