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A1 MES系統 - Coggle Diagram
A1 MES系統
晶圓進站
容器
機台編號
子批(MO)
量測資料
水阻值
真空盤清潔
助切劑
晶圓出站
子批(MO)
產品量測資訊
開立改修機單
Setup/Repair
機台編號
改/修機原因
處理改修機單
檢查清單
異常片批號及鋼印
機台編號
結束單據
Tooling借出
借出原因
切割機台
類型
轉軸
站別
刀片批號