Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
後工程/Back End バックエンド/組立工程 (捺印 (項目 (ロット番号 (デートコード, 製造ロット番号), 製品名 (製品カテゴリー),…
後工程/Back End
バックエンド/組立工程
リード成形
リードフレームからICパッケージを
個片に切断し,外側のリードを成型する工程
トリム
数トンの力でリードを
押さえつけて成形
金型・リードフォーム
装置の摩耗が発生
メンテナンスが必要
メーカーでショット数等の
規定を設けている
フォーム
リードの曲げ
Jベント
J曲げ
SOJ
PLCC
多方向曲げ
ZIP
パワートランジスタ
ガルウィング
Z曲げ
QFP
SOP
TSOP
捺印
項目
製品名
製品カテゴリー
原産国
メーカー名
メーカーロゴ
ロット番号
デートコード
製造ロット番号
温度範囲
捺印方法
レーザー
レーザーマーキング
各媒質のレーザー光を加工対象物に
照射させ表面を物理的効果により
変質させる
剥離する
酸化させる
焦がす
削る
溶かす
変色させる
インク(シルク印刷)
リードメッキ/
プレーティング
目的
酸化防止のタメ:銅が酸化し易い
濡れ性確保:はんだ付けを良くする
メッキの種類
有鉛めっき
RoHS規制品
Sn‐Pb
無鉛めっき
Sn/錫(スズ)系メッキ
錫にBiやAgが数%添加しためっき
Sn-Ag
Sn‐Bi
Pure Sn
Pd/パラジウムメッキ
Ni/ニッケルメッキ
Au/金メッキ
メッキ方法
はんだディップ
電界めっき
めっき液中の金属陽イオンと
陰極につり下げた地金属(銅)の
に電気を流してメッキさせる
メッキの不具合事例
ピーディング
(めっき剥がれ)
原因
リードの油分が
十分に除去されない
対策
脱脂工程の見直し
薬液pH値等の管理項目を
しっかりと見直す
ダイシング
ウェハを1 個ずつのチップに分離
カット方法
ステップカット
1stカット+2ndカット
ハーフカット+
ブレーキング方式
ハーフカット+ブレーキング
ウェハの形状をそのまま保って
ハンドリング。最後に割る
ワンパスカット
1stカットのみ
コントロールポイント
ブレード厚選択
回転速度
不具合
チッピング
小さな欠け
ダイクラック
割れ
カット工具
ダイヤモンドカッター
レーザー
チッピングが軽減できる
チップマウント
(ダイボンディング)
リードフレームに
チップを接着する工程
手順
1.ペースト材をフレームに塗布
2.チップをピックアップしてフレームに乗せる
3.熱を加えてペーストを固める
工具
コレット
キャップをかぶせ
真空にして引っ張る
接地面を小さくする
ペースト
チップとフレームを
接着させる材料
導通型
銀ペースト剤(導通型)
一般的なペースト剤
全体の電位を揃える効果もある
絶縁型
注意事項
消費期限がある
使用温度
間違えるとペーストが固くなり
正常にチップマウントされない
使用量
多すぎると銀マイグレーションの原因に
(チップ表面付近までペースト剤が現出)
量が少ないと導通不良の原因に
また空気溝に水がたまって
ポップコーン現象の原因にも
チップマウント時の塗布の仕方
ワイヤーボンディング
先端を超音波と熱で
溶解して荷重で圧着する
ワイヤー(ボール)とPAD(おもにAl)に
合金層を形成して接続
ボンディング条件
荷重
USパワー(超音波)
温度
使用工具
キャピラリー
(毛細管)
ワイヤーが挿入されていて
加熱・振動・超音波をかけることが
できる
素材(耐久性)
ジルコニア強化セラミック
(バリ硬)
タングステンカーバイト
(ハリガネ)
アルミナセラミック
(硬め)
注意事項
消耗品
摩耗が生じるため
使用回数が限られている
ショット数を管理
先端だけ交換する
イニシャルボール/FAB
Free Air Ball
放電(EFO) によりスパーク熱を
利用して作られる球状のワイヤー先端
ボール径・高さなどの仕様をもとに
イニシャルボールの体積を計算し最適化
注意事項
超音波設定・熱など
パラメーター設定
カーケンダルボイド
熱ストレスで合金層が成長し
高抵抗・接触不良の原因となる
封止/molding
モールディング
パッケージ
別シートで紹介
素材
モールド樹脂
注意事項
モールド剤には消費期限がある
温度/時間の管理が必要
モールド剤が古かったり
開封してからも素早く
作業しないと品質問題になる
種類
ハロゲンフリー樹脂
腐食対策として
ハロゲンが入っていない
低応力樹脂
アナログICなどに使用される
モールド後でもチップに応力がかかりにくい
応力を逃がすためにシリコンゴム系のフィラーを入れる
ソフトエラー低減用樹脂
フィラーα線発生の少ないもの(高純度材料)
に変えてソフトエラーの影響を少なくする
フィラー:充填剤
樹脂:プラスチック、熱を逃がさない
熱を通すためにα線を発生しないように選別する
→熱伝導が良くてノイズが出ないような樹脂が含まれる
セラミック製
樹脂に比べて熱を逃がす効果がある
でも製造が大変で量産には向かない
バックグラインド
ウェハの裏面を削る作業
作業性確保(持ち運びしやすいよう)に
最初ウェハは厚く作られている
しかしIC回路を形成する前工程が終われば
その厚みは不要になるのでウェハの裏面を
300~400μm削るバックグラインドを行う