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光學尺加工系統誤差 (製程 (雷射加工光班, 熱影響區, 焦點位置), 雷射源 (不可補償 (雷射每發的pulse穩定, 每一發pulse的間隔不同…
光學尺加工系統誤差
製程
雷射加工光班
熱影響區
焦點位置
雷射源
可補償
雷射能量不穩
雷射源光點偏移
不可補償
雷射每發的pulse穩定
每一發pulse的間隔不同
雷射beam光型
平台
不可補償
平台移動過程震動
可補償
平台XZ精度
平台水平
雷射頭模組機構
不可補償
可補償
機制件受溫度膨脹
雷射頭模組機構剛性
機構組裝誤差
機制件疲勞應變
雷射機構穩定
馬達mount機構件
機制件加工精度與平整度
振鏡系統
不可補償
運轉過程震動
軸承的擺動
可補償
鏡片擺動變形
系統整合
可補償
平台X與雷射頭正交
光學
可補償
鏡片偏差
反射鏡片反射率降低
鏡片的像差
鏡片mount 偏差