Одни и те же стоки могут взаимодействовать с разными типами дефектов по-разному - отличается эффективность отжига. На это влияет размерный фактор и модульный. Размерный фактор отражает изменение объема матрицы, связанное с появлением дефекта, и проявляется в том, что дислокации преимущественно взаимодействуют с межуз. атомами. Модульный фактор проявляется в том, что дислокации с вектором Бюргерса параллельным приложенному напряжению, с большей вероятностью поглощают межуз. атомы. Величину разницы во взаимодействии дефектов и дислокаций выражают через преференс. Недостатками этой модели является то, что дефекты в реальной структуре могут быть распределены неравномерно, поэтому потоки дефектов к дислокациям неравномерны. К тому же, дефект может покидать дислокацию. Эта модель работает до температур 0,3 Тпл, при более высоких образуются пора, которые не учитываются в модели.