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ZnO RRAM (2.2实验设备 (2.2.1制程设备 (2.2.1.1磁控), 2.2.2分析设备 (2.2.2.1 红外 (2.2.2.2…
ZnO RRAM
2.2实验设备
2.2.1制程设备
2.2.1.1磁控
2.2.2分析设备
2.2.2.1 红外
2.2.2.2 NK厚度
2.2.3电性量测设备
2.3 ZnO:SiO2/ZnOx 存储器
2.3.1 制作流程
2.3.2 薄膜材料分析
2.3.2.1 FTIR
2.3.3 器件特性
2.3.3.1基本性能
2.3.3.2 特殊性能
2.3.3.3机制分析
2.1前言
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本章研究内容：RRAM 用 ZnO 材料
2.1.1目的动机：电阻切换与氧离子浓度关系
2.1.2电阻切换机制
本章小结
概述机理原因
低能耗-呼应题目