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반도체 공정사 (결정 기초 및 성장 (상태도 (공정 (공정반응), 단원 상태도, 이원 상태도, 상?, 성분?, 상태도란?, 고용도),…
반도체 공정사
결정 기초 및 성장
이온결합
결정 구조
결정 용어
결정 방향
상태도
단원 상태도
이원 상태도
상?
성분?
상태도란?
공정
공정반응
고용도
결정 성장
쵸크랄스키
플로팅 존
대역정제
웨이퍼링
절차
게더링
기본원리
게더링 층의 큰 고제 용해도
결정 결함
전자-정공 균형 효과
중화효과
확산
불순물 재료와 확산 시스템
확산 모델
접합깊이
접합깊이가 가지는 의미
일정 표면농도
일정량의 전체 불순물
의미
기본 원리
박막 공정 기술
CVD
Si3N4 CVD
폴리 실리콘 CVD
플라즈마 CVD
저압CVD
상압 CVD
PVD
스파터링
장단점
진동증착
장단점
실리콘 에피택시
장단점
종류
프로세스
산화
실리콘 열 산화
습식산화
Deal-Grove의 산화 모델과 식
건식 산화
열 산화막 성장률 영향 요소
결정 방향
도핑농도
염소의 영향
열 산화막 전하의 분포
계면 포획전하
고정 산화전하
이동 이온전하
산화막 포획전하