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異常FAQ (WHAT 異常項目 (客戶產品或設備上 (異常照片 / Splash mapping, 產品異常之數值, 監控數據異常, U%數值,…
異常FAQ
WHAT
異常項目
靶材上
使用率/正常使用率 (KWH)
靶材異常照片
是否進行過再現性確認
鍍率正常與否含數值
靶材種類 / 靶編或背編
客戶產品或設備上
異常照片 / Splash mapping
產品異常之數值
監控數據異常
U%數值
Arc count
電壓電流異常值/正常值
WHAT
是否有PM
設備PM / 時間 / 手法
靶材PM / 時間 / 手法
WHO / WHERE
客戶名稱 / 廠別
WHEN
出貨日期 / 首次上機日期 / 異常發生日期
Al靶常見問題
MO靶常見問題
ITO靶常見問題