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ITO Arcing (成因 (料-ITO靶材 (靶材 (靶面異常 (異色 (OM/SEM, ICP-AES), 異物 (OM/SEM/金相,…
ITO Arcing
成因
法
環
機
人
料-ITO靶材
靶材
表面粗糙度
加工工法
邊緣狀況
加工工法
靶材成分
靶材不純物
靶面異常
傷痕
OM/SEM
異色
OM/SEM
ICP-AES
異物
OM/SEM/金相
ICP-AES
靶材阻值
銲層
銲層高度
銲層材質
銲層遮護
背板/背管
回鍍區
鎖孔
水路
效應