Please enable JavaScript.

Coggle requires JavaScript to display documents.

DFD Workflow (Create a user account (Categorize Parameters (Reference…

- - - - Create a rule of scoring a wafer
        
        Fault > Alarm vs Non-alarm
        
        Application Configuration > OCAP
        
        Create a rule and assign it to one more modules.
        
        Ignore alarms with idle time greater than 15 minutes.
        
        하나의 모듈 내에서 전 웨이퍼를 처리한 후 15분이 지나서 웨이퍼를 처리할때 발생한 Fault는 Non Alarm 처리.
        
        Differences to notify on
        
        체크한 항목에서 Fault가 발생한 경우, Alarm 처리.
        
        3 more items...
        
        Cases
        
        3 more items...
        
        Alarm type relationship for notification
        
        last n or within lots
        
        1 more item...
        
        last n and within lots
        
        1 more item...
        
        SPC Rules
        
        선택한 SPC Rule 중 하나에 해당하는 경우, Alarm 발생.
        (Or로 연결됨.)
        
        1 more item...
        
        Alarm이 발생한 경우, 선택한 사용자의 이메일로 고지가 전송.
        
        MES
        
        Alarm 발생시 MES에 고지하는 Option (N/A)
        
        Suppress consecutive notification
        
        체크하는 경우, 위의 경우에 따라 폴트가 발생했다 할지라도 바로 전 웨이퍼에 Alarm이 발생한 경우 현 웨이퍼의 폴트는 Non-alarm.
        
        Rule ID는 자동으로 부여되고 우선순위를 변경 가능. Rule은 parameters 까지 unique.
        
        Non-alarm은 Chart에 표시되지 않음.
        
        Application Configuration > Scoring Rules
        
        Create a rule and assign it to one more modules.
        
        Min % of dominant group
        
        Define the dominant group (ignore the external wafers). 70% default. 51% 이상으로 설정할 것을 권장한다. reference 를 쓸때 dominant/non dominant 그룹 두개로 무조건 나눈다. dominant group (main cluster)내의 reference 만을 사용하고 non dominant 그룹 내의 레퍼런스는 제외시킨다.
        
        Data trimming per recipe step by Count/Percent/Time/None
        
        Define settling time and end (?) time (to truncate the data)
        Crop before nth and after nth datum, but do not exceed the first 10% and the last 10% of the data and also do not exceed the first 5 minutes and last 5 minutes. 맨 앞에 오는 단위의 기준으로 데이터 트리밍을 하되 그 다음에 오는 기준을 넘지는 말라는 의미
        
        lower score for process runs affected by sequence alarm occurrence frequency to be considered systemic: 50%
        
        레퍼런스에 사용된 랏 (Last n에서 설정된 레퍼런스가 75개인 경우 3개의 랏)들 중에서 동일한 처리 시퀀스 (주로 첫번째)의 웨이퍼 3개 중 50%, 즉 1.5개 이상에서 알람이 발생한 경우, Non Alarm으로 처리.
        
        Select the product, recipe, recipe step, lot, substrate or parameter to apply the rule. 비워둔 경우 *(All)과 동일.
        
        Rule ID는 자동으로 부여되고 우선순위를 변경 가능. Rule은 parameters 까지 unique.
      - Application Configuration > DFD Configuration
        
        Compare to all wafers in the lot (N/A for batch tools)
        
        Lot 내의 모든 웨이퍼를 레퍼런스로 사용
        
        Compare to last 75 process run/batches; Maximum time difference 14 days
        
        최근 75개의 웨이퍼를 레퍼런스로 사용; 퍼포먼스 문제 때문에 날짜 제한을 두는 것이 좋다. 날짜 제한 때문에 충분한 웨이퍼 레퍼런스를 확보하지 못한 경우, 스코어에 대한 신뢰도가 떨어질 수 있다.
        하나의 Lot이 25개의 웨이퍼로 이루어지므로 25의 배수로 설정하는 것을 권장.
        
        Same product
        
        동일한 Product의 Wafer만을 레퍼런스로 사용.
        
        same recipe
        
        웨이퍼를 동일한 레서피의 데이터만 비교/스코어링 수행
        
        same operation
        
        각 레서피의 스텝 마다 다른 오퍼레이션 아이디가 부여됨 동일한 오퍼레이션 내의 데이터 만을 비교함.
        
        same major PM cycle
        
        위에서 설정한 기간 내에 Major PM이 발생한 경우, 이후 기간의 웨이퍼만을 레퍼런스로 사용.
        
        exclude process run with alarm
        
        FDC에서 알람이 발생된 웨이퍼의 경우 레퍼런스로 활용하지 않음
        
        Alarm limits
        
        Control limit
        
        차트에서 Control Limit이 발생한 레서피 스텝을 노란색으로 표시한다.
        
        Spec limit
        
        Fault의 기준.
    - - 중요도에 따른 파라미터 카테고리를 만든다.
        
        사용자가 관리하는 설비의 파라미터를 찾아
        카테고리에 따라 분류한다.
  - - - Email은 Alarm Notification 수신에 쓰인다.
- - - - Find in which step alarms occurred.
        
        Fault Detail Raw Level
        
        Filter
        
        a-z: 파라미터 이름 오름차순 정렬
        
        z-a: 파라미터 이름 내림차순 정렬
        
        alarm 9-0 알람 개수 내림차순 정렬
        
        선택한 날짜 또는 쉬프트의 모듈에서 문제를 가장 많이 일으킨 웨이퍼가 어느 파라미터의 어느 레시피 스텝에서 문제를 일으켰는지 찾는다.
        웨이퍼가 파라미터별로 어떤 트렌드를 보이고
        이 파라미터의 어느 스텝에 알람이 발생했는지를 찾는 것이 궁극적 목표
        어떤 알고리즘에서 문제의 원인을 찾을 수도 있을 것이다.
        선험적으로 알게 될 수도 있다.
        
        대처: 파라미터와 관련한 모듈의 설정을 조절하거나 기능을 조절.
        
        Process Run 옆 그래프 아이콘
        
        Fault detail process run: 시간에 따라 알람이 발생한 웨이퍼의 수
        
        Chart
        
        붉은 스텝을 찾아 문제의 원인을 찾을 수가 있다.
        
        Tool Tip
        
        step score: 알고리즘의 스코어 중 가장 큰 값. 이 중에서 하나만 점수가 높(나빠)아도 나쁜거임.
        
        붉은 스텝 내의 포인트 즉 시퀀스를 클릭하면 툴팁이 표시된다.
        
        가장 높은 파라미터 스코어가 웨이퍼 스코어가 된다.
        
        스텝 내에서 가장 높은 점수를 받은 알고리즘의 스코어가 스텝 스코어
        
        스텝 스코어: 스코어는 스텝 단위로 메기는데 스텝 단위로 여러 알고리즘이 산출한 value, min, max, median … 중 가장 높은 점수를 받은 스코어가 표시된다.
        
        score: parameter score-스텝 스코어 중 가장 높은 스코어
        
        알람이 발생한 파라미터와 웨이퍼의 차트를 표시한다.
        
        이는 기존의 픽스된 리밋을 이용해 찾는 것 뿐 만이 아니라서 알람의 섬세한 관리가 가능해진다. 사용자가 기존에는 놓칠 수 있는 알람들을 찾아낼 수 있다.
        
        Option
        
        이는 공정상의 문제가 아니라 데이터 개더링 과정에서 발생하는 문제이므로 어쩔 수가 없다.
        
        트레이스 데이터의 시간 순서가 시퀀스와 일치하지 않기 때문에 step과 time 조합은 권장하지 않는다.
      - Falut Detail
        
        하단의 차트
        
        위에서 선택한, 웨이퍼 알람이 많은 날에서 모듈 별로 알람의 수를 보고 알람이 많이 발생한 모듈을 선택한다.
        
        설정에서
        
        Find my EQP
        
        select the period
        
        sync with widget 선택하기
        
        Auto Refresh
        
        Lastest 볼때의 Frequency 정하기.
        
        상단의 차트
        
        차트에서 표시되는 것이 Fault가 아닌 Alarm이란 것에 주목.
        
        내 설비와 모듈에서 알람이 밚이 발생한 시점 (날짜 또는 쉬프트)을 찾는다.
        
        하단의 테이블
        
        문제의 웨이퍼를 찾고 어떤 파라미터에서 문제를 일으켰는지도 본다.
        
        웨이퍼 알람이 많이 발생한 날의 모듈을 지나간 웨이퍼 중 알람이 발생한 웨이퍼의 점수를 보고 이중 가장 점수가 높은 웨이퍼를 선택하고 Fault Detail Raw Level로 Drill Down한다.
        
        가장 점수가 높은 (나쁜) 웨이퍼 순으로 정렬된다.
        
        Reference threshold: %
        
        Context
        
        Filter out the alarms from the selected products, recipes … (exclude)
        
        wild card, * 키워드 앞뒤로 사용가능.
        
        각 항목은 독립적이여서 위 아래의 영향을 받지 않는다.
        
        Paramter
        
        parameter catergory 또한 제외할 수 있다.
        
        Alarm Properties
        
        minimum percentage for full 50%
        
        last n에서 설정한 개수를 기준으로 %
        Default: 75인 경우 37.5개 즉 38개 이상이 full이 된다.
        Dfd config에서 설정가능하다.
        
        Show alarms with partial referencing
        
        위 기준에 몾미치는 Alarm도 차트에 표시
    - - 차트를 드릴다운하는 여러 단계를 거치지 않고 바로 자신의 모듈을 찾아서 여기에 발생한 알람과 웨이퍼를 볼 수 있다.