Please enable JavaScript.
Coggle requires JavaScript to display documents.
สุญญากาศ (การจำแนกระดับความดันในระบบสุญญากาศ (สุญญากาศระดับกลาง ความดัน…
สุญญากาศ
การจำแนกระดับความดันในระบบสุญญากาศ
สุญญากาศระดับต่ำ
ความดัน 30,000-300 Pa
ปั๊มโรตารี :star:
(
https://youtu.be/AFHogF-9eGA
)
ปั๊มรูท
สุญญากาศระดับกลาง
ความดัน 100-0.1 Pa :
ปั๊มแพร่ (diffusion pump) :star:
ปั๊มเชิงโมเลกุล (Turbo molecular pump)
*
สุญญกาศระดับสูง
ความดัน 0.1-10E-5 Pa
ปั๊มสปัตเตอร์ไอออน (Sputter-ion pump)
สุญญากาศระดับ Ultra-High
ความดัน 10E-5 - 10E-10 Pa
สุญญากาศระดับ Extrem - high
ความดัน < 10E-4 Pa
ห้องสุญญากาศ
การสร้างฟิล์มบาง
การสร้างฟิล์มบางแบบไอระเหยทางเคมี
การสร้างฟิล์มบางแบบกายภาพ
ทฤษฎีจลน์แก๊ส
แรงและความดัน
Chemical Vapour deposition
Physical vapour deposition
